真空泵在半导体制造业中的运用

在半導體製造業中有很多種不同的真空泵。我們把它們分红兩類:初級泵和高級真空泵。初級泵有幾種用處:在腔内發明近似中級真空(壓力小於10-3托);清空多腔集成設備中接纳硅片的區域(如真空鎖);爲高級真空泵抽氣(見圖1).高級真空泵用來取得壓力範圍10-3托到10-9托的高級和超高級真空。新型晶片廠中運用的現代真空泵是幹性的，意味著其内部沒有任何可能回流到工藝腔中沾汙硅片的油或光滑劑。